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ICP-MS=ICP+MS: 是一门将ICP高温电离特性与四极杆质谱仪的灵敏快速扫描的优点相结合而形成的一种新型的元素和同位素分析技术。它提供了最低的检出限、最宽的动态线性范围，干扰少、精密度高、分析速度快，可进行多元素同时测定以及可提供精确的同位素信息等。

ICP(电感耦合等离子体)高温离子源( 10000k)。在ICP过程中，样品雾化、蒸发、解离、原子化、电离，最终转化为元素离子。然后通过锥接口和离子传输系统，进入质谱。

MS(质谱)如四极杆质谱、磁质谱和飞行时间质谱等，可以快速扫描分离所有离子，元素质量数从6到250，然后通过双通道离子检测器检测，线性范围可达9个量级(ppt 一ppm直接测定)。此外，ICP-MS还能提供精确的同位素信息。

1等离子体火焰是气体放电形成，并不是化学火焰.

2等离子体是高频(27MHz)电感偶合线圈所致的振荡磁场中自由电子形成.

3能量通过碰撞传递给Ar分子，产生近10000k的温度.

4样品气溶胶进入后，产生解离，原子化和电离，转变为分子、原子、正离子、负离子、电子、光子等不同粒子的气态混合物，形成特殊的物质第四态--等离子体(plasma)。
在每一点处，正离子和负离子的浓度大体上相等，混合物整体来说是准中性的。

5特点:多数元素可完全电离(>99%)

6接口:由前后两个锥组成，分别叫采样锥和截取锥，锥孔分别为1 mm和0.4mm。由于锥两面存在压力差，因而载气流会携带着离子进入真空系统。

7采样锥锥孔较大，这是为了减少金属氧化物的形成;截取锥锥孔较小，以进一步减少进入真空系统的离子量。

8锥的材料一一般为Ni,因为Ni具有高热导性能。而且比较结实耐腐蚀，成本也较低。除此之外，还可用Pt。

9进入真空系统的离子有足够长的平均自由程，得以被静电透镜提取和聚焦。第一级静电透镜(提取电极)被加以负电压，这样它们就能提取正离子，并将它们传送到下级透镜中去，负离子及中性粒子都将被真空泵抽走。在此系统中还有一个光子挡板，以防止光子进入质量分析器。

10离子通过离子透镜，进入四极杆质量分析器，电子倍增管将信号放大，进入多通道分析器(MCA )进行分析。

11检测方式有模拟计数和脉冲计数两种。