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如今 我们应用广泛的二手ICP-MS，涉及到很多半导体制成过程需要痕量杂质分析需求，如何调谐和优化 二手ICP-MS 仪器的状态呢？

首先了解二手ICP-MS的工作原理，调谐的最终目的是：
1、获得最好的灵敏度---信噪比来体现；
2、最大的消干扰---以质荷比来体现。

（1）采样深度

调这个参数分两种情况：
1、难电离元素应当适当增大采样深度，即增加了难电离元素在等离子体中的路程，进而延迟了难电离元素在ICP中电离的时间，使难电离元素得到充分电离，但是过度的延长会增加二次电离的几率，从而会形成双电荷离子，因此单一看此参数的效果就和开口向的抛物线是一样的，需要我们找到一个最佳点；
2、易电离元素与之相反，应当适当缩短采样深度，但是同样的如果过度缩短采样深度会使该电离的元素未充分电离。

综上既要得到最佳的目标值，又要降低干扰，需要有一个指标来确认，这就是我们为什么要看调谐液各参数的信号值的原因。

（2）雾化气

增大会增加进样量，元素的电离量也会增大，但同时干扰的离子也会增加；而且过大的流量会使等离子体温度降低，进而影响元素的电离率。所以需要寻找一个最佳点，因为此参数对信号值的影响非常明显，也是常调节的参数。

（3）雾化室温度

来保证样品在雾室内形成很好的雾状样品，一般设置为2℃。

（4）透镜

通过改变电压，定向选择目标离子通过，进入下一级系统。可以根据二手ICP-MS仪器实际的信号值做出相应调整。

（5）碰撞池

二手ICP-MS仪器 使用的气体一般是氦气，因为氦气的第一电离能比氩气还大，更加稳定，更不易电离，进不用担心再额外产生干扰离子。用氦气去碰撞在前期等离子体中形成的多原子干扰离子，比如ArO+，将这种对Fe+产生干扰的且相对不稳定的多原子离子撞开，来消除干扰。但是必须要调节好流量，过高的流量也会将目标离子撞飞，使大量目标离子无法进检测器，从而会使信号值降到很低。